THK精密平台

精密XY 平台 AX型

因采用了精密研磨的断面高度低的LM导轨与精密滚珠螺杆，是可高精度的定位给进的精密XY工作台。因为是没有使用专用的中间鞍座的组合，行程在一轴工作台的组合下可以自由的选择。

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对位平台 CMX型

基座、上位工作台之间的四个角落，安装了将交叉型LM线轨、交叉滚柱轴承、及精密滚珠螺杆组合起来的模块。因采用了这样的独特构造，而实现了超薄型构造的精密对位平台。

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 精密XY 平台 DX型

引导部使用交叉LM导轨CSR型，驱动滚珠螺杆配置在CSR型的外侧，是中空无中间鞍座的XY工作台。因为中空上位工作台与中空基座之间的高刚性框架的四边配置了交叉LM导轨CSR型，因此是简单、高刚性、高度低的构造。

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 精密XY 平台 EX型

因采用了交叉LM线轨CSR型，是没有使用中间鞍座构造简单的XY工作台。藉由采用将两轴的马达固定的特殊构造，将动作部的重量降低到极限的轻量化，可控制XY各轴的惯性力，因此有优越的高速应答性。